小目标红外测温仪 小光斑红外测温仪 低温金属 材料的沉积 生长蚀刻移除工艺测温
简要描述：
精确的测温仪，拥有行业内较好的信噪比，可测量低温，实现控制高价值工艺与研究应用的无可比拟的精确度。我们 的这一配置采用一根蓝宝石光杆（也就是“光导管”）作为镜头，用以收集来自目标物体的红外辐射。光导管镜头的优势在于，它可测量低温，且易于安装在真空反应器内，一般用于先进材料的沉积（生长）以及蚀刻（移除）工艺。
光导管镜头配置有5种光谱响应（波长），具有以下特点:
主要优势：
● 低温测量功能（具体内容请参照以下表格）
● 30-670°C温度条件下光谱响应为700-1650nm
● 70-110°C温度条件下光谱响应为1550nm
● 210-1300°C温度条件下光谱响应为900nm
● 220-1300°C温度条件下光谱响应为880nm
● 400-1500°C温度条件下光谱响应为650nm
● 响应时间短，仅1毫秒
● 精确度+/- 1.5 °C或读数的0.15%
● 精度0.01 °C（详见技术资料TN-828）
模拟输出(用户可选4-20mA或0-10V)、以及多通道接口模块（单个数字信号最多可使用8个传感器，串行模拟输出）可供选择。标准系统包括所有必要的电缆、电源、电脑接口软件以及存档/校正系统。
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