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红外高温计在化学气相沉积 CVD 应用

作者:admina来源:时间:2024-09-10 13:34:20浏览量:208人阅读

  

红外高温计在化学气相沉积 CVD 应用

AST高温计、AST红外线测温计、AST红外测温仪、AST、AST测温显示仪表、AST电缆、AST测温头
主要型号:
A系列:A250 PL/TL、A450 PL/TL、A150、A450CPL/TL
E系列:E250 PL、E450 PL、E450C PL、EL50、EL50-H
AL系列: AL30、AL390、AL514、AL45
T系列:T2-250、T2-450、TL8、TL514、TL390
AB3000、AE3000、AC3000、AM3000、P3000、FR3000、PS3000、P110、A4、TFV750/1100

化学气相沉积 (CVD) 工艺是一种涂层工艺,它在加热的基材表面使用热诱导化学反应,试剂以气态形式(CH4 和 H2 等离子体)提供  CVD 工艺在真空炉中进行,温度范围为 600 至 2500 摄氏度。在此过程中,将一片晶种薄片放置在密封室中并加热到 800 摄氏度左右。然后在该室中填充碳达到的气体(CH4 &H2),在这个过程中,来自气体的离子被解离,从而增加了石墨烯在衬底上的沉积,即目标晶种上的碳和氢等离子体。
高温计该应用程序的挑战性部分是等离子体发射特定波长的红外能量,我们需要通过等离子体测量目标的一致温度。 AST 提供基于非接触式红外的高温计,可在等离子体透明的选定波长下工作。由于 CVD 是一个耗时的过程,因此仪器的高精度和稳定性至关重要。
PLUSFO-CVD红外测温仪, 具有内置温度显示、模拟和数字输出、继电器输出和参数设置按键。它的传感头非常小,安装非常方便。通过 RS 232 或 RS 485 在电脑中连续记录过程数据。

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