硅片温度 Is 12-Si红外测温仪
Is 12-Si红外测温仪 数字式高端测温仪，用于非接触式测量350℃以上的硅片温度。
主要特性
用于测量硅片；
350-1800 °C 之间的4种测温范围；
光谱范围：近红外窄带，特别用于硅的测量；
6个固定镜头和3个调焦镜头；
响应时间10毫秒，可调节到10秒。
简要描述
IS 12-Si红外测温仪配备了一个近红外窄带滤光器。这样就可以可靠地测量350°C以上的薄硅片，对于红外辐射来说，低于该温度，这一薄硅片就是透明的了。在这个特殊的光谱范围内，硅的辐射率为67%，且不受温度影响。这就使IS 12-Si能够检测出硅片的正确温度。
在温度范围内测量开始时，IS 12-Si对光是敏感的。这个敏感度随着温度的增加而减弱。在温度范围开始时需要低温的应用情况下，这一效果可通过筛选光线来得以避免。
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测温范围 |
400...900°C 400...1300°C 350...1000°C 500...1800°C |
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测温次区间: |
测温范围内任意可设置, 最小跨度 51°C |
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测量波段: |
近红外窄波, 测量硅材料波段 |
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信号处理: |
光信号立即数字化 |
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绝对精度: |
测量值的0.3%+ 1°C |
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重复精度: |
测量值的0.1%+ 1°C |
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分辨率: |
接口和数显: 0.1°C, 模拟输出: < 温度范围的 0.025 % |
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响应时间 t90: |
< 10 ms 可调为 10 s |
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发射率 ε: |
0.100 ... 1.000 调幅 1/1000 |
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模拟输出: |
线性 0 ... 20 mA 或 4 ... 20 mA, 直流 |
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数字接口: |
RS232 或 RS485 可切换 |
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瞄准方式: |
内置取景器, 附带激光瞄准 |
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防护等级: |
IP65 (DIN 40050) |
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环境温度: |
0...70°C |
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存放温度: |
-20...70°C |
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相对湿度: |
无冷凝 |
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参数设置: |
仪器本机上可进行参数设置, 测温数据显示 |
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CE-标志: |
符合欧盟相关标准 |
