带视频瞄准的红外测温仪解雇半导体薄膜沉积工艺解决方案
被测物可能被离子云包裹
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多次加热工况中，对测温仪重复性与稳定性要求高
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衬底材料会发生变化，要求测温仪有不同的应对方案
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须透过视窗测量，推荐使用红外视窗材料
场景特点
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需维持在高温状态（LPCVD 500~800℃，MOCVD 500~1200℃）
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生产过程中随着反应状态的变化，温度也需进行调整，故而对测温仪的响应速度要求较高
匹配产品
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我司提供产品作为解决方案：IGA 6-TV、IGAR 6-TV
技术指标
型号指标类型IGA 6-TVIGAR 6-TV测温范围250...2500℃100...2000℃测量波段1.45...1.8μm波段1: 1.5...1.6μm;波段2: 2.0...2.5μm分辨率数字接口：0.1℃模拟输出<温度范围的0.0015%数字接口：0.1℃模拟输出<温度范围的0.0015%响应时间120μs2ms测量精度读数的0.3%±2℃（<1500℃）读数的0.6%（>1500℃）测量值的0.4%±2℃（<1500℃）测量值的0.8% （>1500℃）重复性读数的0.15%+1℃测量值的0.2%+1℃瞄准方式视频瞄准，彩色图像。带有瞄准指示光圈视频瞄准，彩色图像。带有瞄准指示光圈环境温度外壳上0-70℃外壳0-65℃测量模式单色双色/单色/金属模式，可切换防护等级IP65IP65
